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蓝宝石晶棒生产工艺比较(原创)
2016-02-03 16:05  浏览:956  下载:0
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 蓝宝石CZ法KY法VHGF法工艺比较一览

NO.

项目

Cz法

Ky法

VHGF法

1

加热型式

电磁感应式

电阻式

电阻式

2

使用坩埚材

铱坩埚

钨坩埚

钨坩埚

3

使用热场型式

氧化锆或石墨碳纤材

钨钼材

石墨碳纤材

4

目前使用最多区域

日,韩,台

俄罗斯

韩(STC1家)

5

可制造最大晶体

6吋晶棒(A或C轴)

90KG晶柱(A或C轴)

6吋方型晶体

6

设备稳定性

极差

N/A

7

晶棒良率

N/A

8

自动化程

N/A

9

人员需求

少(3~5台/人)

多(1~2台/人)

N/A

10

市场使用

来源:51报告在线行业研究中心整理

 蓝宝石CZ法KY法成本比较一览

NO.

项目

单位

Cz

一般传统Ky

1

charge

sizekg/run

30

30

2

坩埚

 

铱坩埚(劣)※注

钨坩埚

2

可取晶棒直径

2"~8"(优)

2"~4"

3

生产时间

天/run

6(优)

14

4

2"产能

mm/月

3000~3200(优)

2000~2500

5

单位生产成本

USD/mm

4.5~6(优)

6~8

6

调机时间

1.5~2.5(优)

5~6

7

单位使用功

KW/hr

35~45(优)

60~70

8

耗电

KWH/run

4500~6500(优)

18000~25000

   铱为贵金属铱坩埚后续可回收故不属耗材,长期使用比钨坩埚(耗材)合算。

来源:51报告在线行业研究中心整理

 蓝宝石HEM法KY法 CZ法EFG法特征一览

特征

HEM法

KY法

CZ法

EFG法

晶锭外形规则,更高的产品良率

YES

 

YES

YES

固定方式长晶,高品质的材料生长

YES

YES

 

 

自上而下长晶,气泡易排出

YES

 

 

 

稳定的温梯,最小的对流

YES

 

YES

 

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